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      产品说明: Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的*新系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下*高分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可...

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      产品详情


       
      Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下*高分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。

      产品特点
      1.沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
      2.采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的*佳性能;
      3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV);
      4.采用污染小、高真空样品仓;
      5.运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

       
      应用领域
      2、半导体器件;
      4、生物医学;

      技术参数
      项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
      二次电子分辨率 0.7 nm(加速电压15 kV)0.8 nm(着陆电压1 kV)*3 0.6 nm(加速电压 15 kV) 0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3
      着陆电压 0.1~2 kV 0.01~20 kV
      放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
      样品台 样品台控制 3轴马达台(可选5轴马达台) 5轴马达驱动
      移动范围 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
      Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
      R 360°
      T -5~70°
      Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
      再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
      *3减速模式下观察
      *4以127 mm × 95 mm底片为基准的倍

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